※ 引述《WenLovesJJ (過年的氣氛真好)》之銘言：
: ※ 引述《CHTZ (耶魯不良品)》之銘言：
: : 有人問我
: : 如果.....
: : 一百萬顆連續的VIA 1%沒開
: : 看剖面看到光阻殘留在底部
: : 如果蝕刻被狗幹,你要怎麼澄清阿?
: 你是在wafer finish完切cross-section看到Via沒開嗎?
: 如果都已經蝕刻完了，才不會在cross-section面看到光阻殘留咧!
: 那在etch完後的拔光阻應該會連底部的光阻殘留都洗光了吧!
: 通常我看到Via open，我都會看是不是有scum(scum又得看它的Via profile)
: 的現象再來決定是不是光阻殘留
: 或是你可以在Via open底部打EDX看元素來討論看看是誰造成的。
: 你有照片來拿看一下嗎?!
這是外果仁問我的,所以也沒圖
但是我自己覺得不像是蝕刻的問題
反而是黃光這邊顯影不全,只是這種很難證明
頂多我顯影久一點,再看VIA有沒有全開
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