[請益] 請問有關於微機電懸空結構的蝕刻？

[damnboy (該認命了....)]

最近etching常常遇到困難...
先用TMAH蝕刻矽 再用BOE蝕刻oxide
金屬會漂起來...(金屬是Au 跟Cr)
有時候是在TMAH這步  有時候是在BOE這步...漂起來
但是etching的條件跟先前都沒有改變(之前成功過)
不支版上大大有沒有人也在etching的
有沒有遇到同樣的問題
如何增加金屬adhesion的方法?

感恩^^

※ 編輯: damnboy         來自: 140.114.20.6         (12/28 12:40)