[請益]alpha-step問題

[app13 (QQ)]

各位好

請問alpha-step對於厚度為奈米等級(大概150~300nm)的薄膜

在量測薄膜的厚度會很準確嗎?

因為有聽認識的人說光儀器的那根探針就比膜厚大的多

因此用alpha-step量出來的數值誤差會蠻大的

真的是如此嗎?

煩請有經驗的各位不吝告知

謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 218.174.35.150
推 AFM:好像要上千μm才看的出來 ???
推 AFM:應該鍍三千，校正誤差，如果準了，300 nm也不劃差太多 ...
推 paullai:原PO問對了  剛好是樓上的專業 (我是說樓上的ID XDD)
推 beyondman24:看探針的精準度吧
→ beyondman24:我家量150~300NM還蠻OK的
→ ninkioh:1f id專業嗎XDDD