[請益] 關於蝕刻GaN問題

[awsezxcd (最強地球人-克林)]

請問我有一批以圖形化藍寶石基板做底的藍光LED chip
已經打上電極,我想知道圖形化藍寶石基板的結構,有甚麼溶劑可以
洗掉GaN而不吃到藍寶石的嗎?

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.118.181.92
推 kofbook:GaN的話 用HCl、硫磷酸混合液都可以吃
→ kofbook:對於Sapphire有沒有蝕刻我就不清楚了
→ kofbook:電極假如想洗掉的話 先用王水
推 shadowppt:紫外線+氫氧化鉀
→ awsezxcd:shadow大請問用紫外加KOH就可以得到完整的藍寶石圖型了?
→ awsezxcd:可否站內信比較詳細的做法呢?