[請益] 非晶矽濕性蝕刻配方請教

[a5692673 (月炎)]

各位好

請問一下ITO玻璃上的非晶矽

有甚麼效果好的濕性蝕刻袪除

目前我知道可以用KOH水溶液

還有HF+HNO3+CH3COOH

兩種配方

但HF這個配方會吃掉玻璃    不考慮

不知道還有甚麼好的配方??

又不會把玻璃吃掉

謝謝

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→ FcuKobe:126 如此水準