推 quaintness:六吋大小e-gun sputter應該都可以吧,只要Chamber放得下 10/13 02:16
→ quaintness:有些人的sputter chamber是客製自己組的.. 10/13 02:16
請教一下
有一個空心管(外徑15cm 內徑10cm)
想要用sputter沈積二氧化矽材質 在管內
大概要怎麼做才能沈積在裡面??
要做治具還是有何方法?
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.173.156.16