[請益] 關於目前業界定為平台的精密度

[psychic (過路人)]

我們實驗室主要是做控制定位

上一個計畫目前有做到10奈米左右的平台定位

測量是用雷射干涉儀


然而在下一個計畫我們負責的也是控制定位

但...主計畫的教授說現在業界都是做到一奈米的

想請問一下板上

現在業界真的都做到一奈米了嗎?

還是指的是解析度不是精度

因為目前我看DATA干擾就超過一奈米了

真的要做就要把之前的平台拆掉重新思考別的方法

感謝板上熱心的回答

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.43.253
→ michaelgodtw:看產業種類,1奈米可以去問問看你教授是何種產品
→ michaelgodtw:光是地震一下就瞬間可以讓儀器超過了,業界會有,少
→ michaelgodtw:大部份是學界出一張嘴比較多,叫他拿證據出來
推 goodrain:上次有個廠商來說他的滾珠螺桿精度可以到達1nm..我質疑XD
→ goodrain:行程也是個問題..我學長說中研院他們做得到 但是不長
→ goodrain:因軌道會隨溫度熱漲冷縮..就gg了
→ bobjohns:軌道不長 這樣會有用途= = ?
→ goodrain:婀..軌道長指的是1米以上 如果再100um等級的用壓電推還好
→ Kayusumi:背隙就..
→ chihpao:http://www.aerotech.com/product-catalog/stages.aspx
→ chihpao:參考一下..國外AEROTECH的規格
推 jayouch:哪可能...我是相關產業，可以拜訪一下貴教授嗎...XD
→ df753:請問是何種設備的定位精度可達1nm，透露一下實驗室吧
→ psychic:欸都，不是我們教授，我們是子計畫，主計畫教授講說的
→ psychic:上一個是在真空箱做的，大概10奈米左右的定位
→ psychic:主教授有點大咖我不敢說，不過我們大學很呆就是
→ psychic:我們教授也在問是精度還是解析度，精度我就搞笑了XD
→ goldboat:不負責任猜測,你老師是修XX,大老是范XX   XD