產業評析-缺水的科技產業，如何解渴？
(92/10/13)
‧作 者：零組件雜誌
作者：謝馥芸
水，看似廉價品，當乾旱來臨時，更彰顯出其珍貴處。2002及2003年的台灣旱象，一場反
聖嬰現象的災難，仿若世紀初的地球氣候亂象，不但民生用水漸漸不足，就連台灣的經濟
命脈－科技產業也要叫苦連天了。水，看似廉價品，當乾旱來臨時，更彰顯出其珍貴處。
尤其對業界而言，無水，製程又如何繼續呢？
那麼，水對科技業界有何用途？以晶圓廠為例，在所有的製程中，以爐管、蝕刻的需水量
最大；由於製程中的晶圓需要大量的純水清洗雜質，光在爐管與蝕刻等製程，所需的超純
水水量約佔總水量的60％～80％。進入奈米製程後，製程需水量更是有增無減，然而用水
規格高，普遍而言，目前大部分的純化系統都不敷使用。
就目前二大需水量大的產業－半導體業與TFT-LCD研究，根據水利署資料顯示，2002年半導體業一天用水量為9.3萬噸，TFT-LCD業的一天用水量為6萬噸；2006年時
，國內半導體業用水量將成長為一天16.5萬噸，而TFT-LCD業成長幅度更大，一天即達22.
8萬噸。
據了解，目前的新竹科學園區每日用水量約為11萬噸，預計2004年最終用水量將為16萬噸
。自2002年台灣發生缺水的困境後，許多業者只能靠買水解決工廠運作問題，2003年的狀
況仍未比去年佳，若依照園區用水量的成長模式來看，2004年的旱象將更加嚴重，對我國
產業不疑是一大打擊。
根據國科會針對缺水對園區之影響分析，園區供水量不足10％，將通報缺水警訊；供水若
不足20％時，近半數的製程機台將停止運作；一但供水達到30％以上，園區內大部分晶圓
廠的機台勢必完全停機，限水措施將嚴重衝擊業界，造成無可計數的損失。
為解決缺水問題，我國產業節水研究最具代表性的單位，即為工研院能資所。能資所即與
美國半導體產業技術研發中心（NSF/SRC ERC for Environmentally Benign Semiconductor
Manufacturing)合作「奈米產業超精微製程省水及回用技術」，即強調二個特點，一為廢
水資源化，其二則是將製程水回收後用於奈米製程用水，預計使國內IC、LCD產業每年可
節水500萬噸，相當於四座12吋晶圓廠的建廠需水量。與業界合作方面，去年力晶半導體꜊Y與能資所合作「12吋晶圓廠奈米級水資源再生計畫」，12吋晶圓廠總計耗資新台幣10億
元以上，建置製程用水及廢水回收處理設備，該公司並自訂目標為85％的廢水回收率。
隨著半導體、TFT-LCD、奈米材料、生醫科技、精密機械模具等產業邁向精微、奈米化的
過程，其所需要的大量用水，將讓台灣付出高昂的代價：要不就花大錢做一套節水措施
，要就準備一起渴死。積極的做法是做好節水系統，也可達到省水、環保的效果，為自
己的廠房節省水成本；消極一點，則是想像自己是農人，得看老天吃飯，老天爺要是不下
多點雨、刮幾次夾帶大雨的颱雨，就得隨時有心理準備配合政府的限水措施。往其它方面
想，世界各地並不只有台灣缺水，所以公司外移也解決不了根本問題。最後的辦法－不如
去跳祈雨舞吧！
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