請問一下有關於黃光製程

[matsui32 (愛讀書的小孩)]

有一些關於黃光的問題想請教一下大家


請問一下黃光製程中有一道是上HMDS

我們通常在做這一道之前有沒有先prebake呀？


還有我們自己實驗室在上光阻 FH-6400的轉速
一二階段分別設多少？然後轉出來會有多厚？ 要曝多久時間？


感謝


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◆ From: 59.104.108.11
※ 編輯: matsui32        來自: 59.104.108.11        (04/23 14:04)
推 leptons:1st 500rpm  10sec  ,2nd 4000rpm 30sec  ,exporse40sec
→ leptons:轉出來多後可以參考黃光室門口的資料
→ matsui32:3Q