Re: 請問一下有關於黃光製程

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※ 引述《matsui32 (愛讀書的小孩)》之銘言：
: 有一些關於黃光的問題想請教一下大家
: 請問一下黃光製程中有一道是上HMDS
: 我們通常在做這一道之前有沒有先prebake呀？
: 還有我們自己實驗室在上光阻 FH-6400的轉速
: 一二階段分別設多少？然後轉出來會有多厚？ 要曝多久時間？
: 感謝


  都上hmds了 就不需要做prebake囉。

  不過保持sample的乾淨度，是很重要的啦！

  很care厚度的話，顯完影，用a-step量一下不就好了！


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