推 foreverthere:上次有一批也是這樣子@@ 我想起來了 05/18 00:52
推 shibaaragorn:對阿 05/18 01:04
今天用半島體中心的wet oxide那根爐管anneal(因為P+壞了)
但設好program 半夜去收片時卻還在950度 沒有跳到第二階段
我在run之前有先測試過 升到450 0.1小時 結果沒問題 但今天設4小時就不行
之前學長好像也遇到同樣的問題 同樣是wet oxide這根的program
要做的人注意一下吧..... 才不會空等
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