推 matsui32:感謝 06/17 00:56
※ 引述《matsui32 (愛讀書的小孩)》之銘言：
: 書上說舊式的100毫米(四吋)晶圓製造廠內才用高壓空氣槍或是氮氣槍
: 較先進的200毫米晶圓製造廠就不用了，因為空氣槍能除去晶圓表面上的
: 大型分子，但也會在上面增加小型微粒
: 他說尺寸縮到次微米層次的時候，這個小型微粒就要被考慮進去了
: 沒有用氮氣槍，那麼應該有解決之道
: 書上沒有介紹什麼方法可以解決。不知道有人知道嗎？
其實大部分還是用氮氣乾燥，但是不會直接用高壓氮氣去吹乾！
所以現在大部分都是用旋乾機，利用離心力把水趕走，最後在充滿氮氣的環境下
乾燥！
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 59.104.234.97