[問題] 表面輪廓量測

[Ice98 (又寂寞又美好)]

        請問一下諸位板友

        因為實驗上要量測整個元件的平面傾斜狀況

        所以需要像ZYGO Optical Profiler這種光學式表面輪廓儀

        不知各位是否知道國內有哪個實驗室有類似的儀器

        感激不盡!~

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.14.214
推 ono7:http://www.itrc.org.tw/service/charge.php
→ Ice98:Many thanks for your message ^^
推 forceout:zygo...應該不是這樣用的吧?
→ Ice98:疑...我看很多paper都是用ZYGO在量的ㄚ @.@a
推 savior:WYKO應該比較常見?  台大應力所裡面就可以用了
推 forceout:我知道的ZYGO應該是量測光學品質,不過ZYGO應該是廠牌
→ forceout:可能有別的系列. 我們用wyko(也是廠牌吧!)
→ Ice98:感謝!~ 請問應力所哪個group有WYKO呢
推 savior:請愛用google...
→ savior:因為我也不在台大  只能從網路上找  :p
推 july:台大應力所的黃榮山教授帶領的Group有WYKO...可以去問問看..