[問題] 關於lift-off

[namicha (迷途小書僮)]

小弟最近在做lift-off
一直遇到問題

先說一下我的製程
我使用蒸鍍的方法
底材是載玻片
鍍的金屬是黃金  Cr當黏著層
是要當做導線之用  線寬是300micron
每次鍍500A  總共鍍了2000A

在lift-off的時候
我泡完丙酮有稍微用水彩筆刷一下
可是黃金很容易掉落
每次看到pattern不見
一整個就是欲哭無淚啊

不知道各位先進
可以建議一下怎樣比較容易成功嗎？
還是改用其他金屬當導線會比較好呢？
先感謝各位了～

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.116.201.61
推 warpop:鍍Cu 之前Lab有人也是度在玻璃片上  不容易掉
推 oactioner:1.應該是用az定義吧要先確定有顯影乾淨
→ oactioner:打ebeam速度太快約0.7A/S 然後到90度停 等降溫後繼續打
→ oactioner:一直重複累計到你要的厚度 參考看看
推 skyslee:微奈米的舊E-beam有點問題...要不要換新E-beam?
→ namicha:給樓上  我沒有認證新e-beam  @@
推 oactioner:呵 機台也是佔很大的因素 微奈米中心的.....
→ skyslee:我們之前舊E-beam也是跟你同樣問題,新E-beam不會