[問題] 如何得到剖面的耐米結構SEM

[MicroOptics (啦)]

        大家好
        我的問題是

        我在SI上長20000A的SIO2
        然後製作週期為300~600nm
        線寬為100nm深度為100nm的1D或2D結構

        我至今最好的SEM圖是邊緣有破裂的
        換言之無法用於paper或申請文件上的
        有沒有人有辦法或其它資源的   謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.5.24
→ MicroOptics:順便問一下  PDMS要如何照SEM呢
推 cmkv7rdf:先渡一層金屬鈀材在上面 在用SEM照會比較清楚
→ cmkv7rdf:記得貼銅膠帶在sample上增加導電度!
推 serve:用dual beam FIB切完後 傾倒直接照cross section SEM
推 oactioner:鍍金屬建議選用Pt表面比較平整 鍍黃金是比較常見
→ oactioner:剖面通常都是 就是倒過來剖面向上 底下黏10元硬幣
→ chiio:s大的方法也是我們所採用的方法，效果不錯
→ chiio:另外請問一下原po，你們100nm的線寬是用什麼pattern出來的呢
→ chiio:E-beam嗎？ 還是其他方法呢？
推 Timsteven:不然掃AFM吧 krkr