衝人氣

[forceout (forceout)]

其實是來問問題的

蝕刻完後晶格面的角度 or 其他幾合形狀
怎麼量測角度?例如54.7±?
(尺寸亦同)

二維的東西要量測還蠻容易的

但是三維就會碰到視角的問題

三微的資訊主要來自
wyko(老師規定要說干涉儀 囧)
AFM
α-step?

曾經想利用wyko的平面影像以及縱深的數據透過三角函數換算
但是wyko的平面解析度不高.失敗



請問有什麼儀器能夠直接量測角度?


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.213.92
推 CMOSMEMS:是群哥!  FIB一切 SEM一照 就有了
推 savior:你想看的feature size有多大呢?  例如cavity的最大寬度是?
推 tzjwinfcha:SEM+1
→ forceout:SEM一樣會有視角問題
→ forceout:一樓是屁博
→ tzjwinfcha:可以把結構切剖面來量測呀，看cross-section
→ tzjwinfcha:之前實驗是這樣子做的