推 Timsteven:原po是帥哥....XD 06/23 09:26
→ savior:樓上是愛狗人士... 06/23 11:27
推 july:IEEE Ultrasonics Symposium 也有很多這方面的文章...^^ 06/23 14:48
推 july:哪天savior大大也可以介紹一下BioMEMS的走向...一定很精彩 06/23 14:51
推 jenhom:......1樓2樓的.......有你們的....... 06/24 13:12
再po一篇讓討論持續 雖然我自己不是做這一塊的 :p
我的觀察是關於RF MEMS resonator大部分的研究在兩個會議上可以看到最新進展
1. IEEE MEMS的RF MEMS session
2. IEEE International Frequency Control Symposium
而商業化上 目前最受關注的應該就是SiTime跟Discera這兩家公司
有板友可以分享一下他們的近況嗎?
※ 引述《july ()》之銘言：
: 之前答應版友divhexa稍微介紹一下SAW在RF MEMS上的應用...
: 既然要介紹一下RF MEMS的話，小弟只好現醜一下...
: 稍微講一下目前RF MEMS在Resonators和Filters的研究團隊和研究方式
: 當然RF MEMS的範疇不只有震盪器和濾波器而已，
: Switches 和 電容、電感應該也可以算在RF MEMS裡面吧？！
: SAW (Surface Acoustic Waves)
: 主要是靠IDT(Interdigital Transducers)在壓電材料表面上激發出表面聲波
: 靠特定IDT的pitch激發出特定波長的表面聲波
: 進而達到震盪器和濾波器的效果...
: 一般而言，震盪器至少需要一組IDT，而濾波器則至少需要兩組IDT
: SAW的研究應該還是以日本的研究團隊為主
: SAW研究團隊
: 台大應用力學所、成大電機所、義守電機所
: University of Central Florida (Prof. Donald Malocha)
: Chiba University (Prof. Ken-ya Hashimoto)
: University of Tokyo (Prof. Higuchi and Prof. Yamamoto)
: BAW (Bulk Acoustic Waves)
: BAW Resonators 主要分為兩種激發方式的震盪器，
: 震盪頻率主要由壓電薄膜的厚度來定義..
: 一種是FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonators)
: 一種是SMR(Solidly Mounted Resonators)
: BAW研究團隊
: FBAR
: Avago Technologies (Dr. Richard Ruby)
: University of Southern California (Prof. Eun Sok Kim)
: SMR
: TFR Technologies (Dr. K.M. Lakin)
: Piezoelectric Contour-Mode Resonators
: 這也是和FBAR一樣，利用上下電極激發壓電效應所產生的另一種模態，
: 好處就是震盪頻率不會受控於壓電薄膜厚度
: 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果
: Piezoelectric Contour-Mode Resonators 研究團隊
: University Pennsylvania (Prof. Gianluca Piazza)
: Georgia Institute of Technology (Prof. Farrokh Ayazi)
: University of California at Berkeley (Prof. Albert P. Pisano)
: Stanford University (Prof. Thomas W. Kenny)
: Static (Contour-Mode) Resonators
: 在結構的兩側利用靜電效應所產生的模態，
: 好處和上述一樣，其震盪頻率不會受控於結構厚度
: 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果
: Static Contour-Mode Resonators研究團隊
: 清大奈米工程與微系統所 (Prof. Sheng-Shian Li)
: University of California at Berkeley (Prof. Clark T.-C. Nguyen)
: Cornell University (Prof. Sunil Bhave)
: Carnegie Mellon University (Prof. Gary K. Fedder)
: Nano-Resonators
: 另外，還有一些團隊利用奈米探管作為震盪器的應用
: California Institute of Technology (Prof. Michael Roukes)
: Georgia Institute of Technology (Professor Zhong Lin Wang)
: Columbia University (Prof. James Hone)
: University of California at Santa Barbara (Prof. Andrew Cleland)
: Cornell University (Prof. H. G. Craighead)
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