[問題] PDMS 氧氣電漿接合 Parylene-C

[Goosbe (P&P)]

各位大大好~



想請教一下，PDMS和ParyleneC 以氧氣電漿接合的參數。

之前學長有給我paper證明兩者是可以接合的。



我現在試過以25W電漿，200mTorr壓力下打90秒，再進行接合。

做完後，完全沒有結合的感覺，就可以很輕易的兩者撕開分離。

如果有大大做過這方面的研究或是管道請不吝分享。謝謝。


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◆ From: 140.112.14.214
推 savior:有paper來源可以供參考嗎 據我所知只用O2 plasma應該沒用..
推 oactioner:這個參數 有試過pdms跟玻璃的接合狀況嗎?
→ Goosbe:它是一篇APCOT 2008的Poster 因為我在網路上找不到直接連結
→ Goosbe:所以需要的人可以給我信箱我寄給您就好
→ Goosbe:我有試過，以此參數再同一機台不管是接合PDMS對PDMS
→ Goosbe:或是PDMS對玻璃的接合狀況都很好。感謝上面兩位大大回應。
推 Ice98:學弟好,我的參數跟你完全不一樣耶 XD
推 Looming:有幾個點要小注意一下 1.PDMS表面的清潔 要很乾淨
→ Looming:2編編要修乾淨  不然壓不上去
推 ameba1221:看到parylene超級懷念的...