[問題] 請問金屬的殘留應力

[divhexa (迎風)]

小弟最近正在做微機電的模擬，做的是殘留應力這一塊

(因為只是專題生老師不給碰製程，所以若問了蠢問題請見諒@@")


我想問的是：金屬的殘留應力梯度在不同製程下，有可能會反過來嗎？

就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲

但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎曲呢？
(即某金屬用A製程，結果會向上彎曲；用B製程會向下彎曲)

可能表達的不是很好    請見諒


對了，老師要我模擬的材料是金(Au)

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◆ From: 122.122.158.217
推 savior:你可以先找一下Senturia的Microsystem Design這本書看看
→ savior:裡面有提到薄膜的殘留應力的生成方式和估算方法
推 tzjwinfcha:會的~你得到他了