[問題] 我想做個microfilter

[wingaho (hank)]

我想用wafer做個microfilter

大概1~3*10^-6m

請問有啥適合的光阻

可以最到這麼薄的嗎

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→ peanut2:FH-6400
→ littleghost1:AZ6112可做到1~2um