[問題] 有任何機台 RIE or ICP 可進含AU的金屬,並可以etch 二氧化矽

[tjime831 (James_IN (準))]

急問..............

 請問各位大大,

     版上有人知道那裡有機台可以dry etch 6" wafer 上的 Oxide (RIE or ICP)

並且不怕"Au"汙染的機台.

國立,公司的都行.

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 218.173.167.213