[請益] 濺鍍鋁膜

[Ice98 (又寂寞又美好)]

我也有遇到相同的問題,

請問在sputter前, 是否一定要將鋁靶材拋光?

賣靶材的廠商有告訴我要clean,

但是不知道要怎麼處理


※ [本文轉錄自 Master_D 看板]

作者: app13 (QQ) 看板: Master_D
標題: [請益]濺鍍鋁膜
時間: Sat Oct 25 17:53:08 2008


最近需要濺鍍(sputter)鋁膜(厚度約50nm)

原先實驗室有一塊表面有變黑色的鋁靶，有用砂紙把它磨到表面變成有金屬光澤了

不過濺鍍的結果發現沒鍍上去

所以後來買了一塊新的鋁靶

但不論新舊鋁靶

每次濺鍍的功率都大概開80~100瓦，鍍了2~10分鐘，真空度也都有到10的-5次方

鍍了幾次仍然都沒鍍上去(即使是後來鍍到10分鐘的也是)
(有用電表量過完全沒電性，故認為沒有鋁膜濺鍍上去)

對於新的鋁靶，每次預鍍也都有10分鐘

但機台其他同學鍍其他的靶材都ok

實在是百思不得其解

煩請有經驗的各位不吝提供一些建議

謝謝大家!

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◆ From: 59.104.191.225
推 eoi:RF or DC?
推 nikenike:2~10min 時間是不夠的!!!
推 konly:給樓上 就算時間不夠 每秒給你1A/s速率 鍍超過200A以上就看
→ konly:的出來 因為Al的skin depth才100多A 透明玻璃都能看的出差異
→ konly:建議還是無法確定有無鍍上 玻璃片放進去 就知道有沒有鍍上去
→ konly:電表會量不到 有時候是膜太薄導為非連續性膜 電阻大之類的
→ kto135:打AES??
推 survival1010:10min  鍍不到什麼吧  速率太快  品質會很差
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◆ From: 140.112.14.214
※ 編輯: Ice98           來自: 140.112.14.214       (11/01 22:57)
推 ghostbb:應該是不須要拋光 以前我買一塊鋁靶沒拋直接鍍也是鍍的出
→ ghostbb:再加上你說同學用別的靶就鍍的出來 有可能是膜太薄
→ ghostbb:建議先加高功率或時間看看能不能讓膜厚一點
→ ghostbb:並且用個東西把一部份基材擋住 再LOAD出看有什麼差別