[問題] 有關於蝕刻

[bbturtle (嗯)]

查了很多paper可是查不到這個資料

想請問一下有人知道蝕刻Ni的配方嗎?

是蝕刻純金屬Ni 不是silicon nitride

困擾小弟已久，想請教各位mems高手

感恩

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.23.239
推 lightnsalt:http://tinyurl.com/5awqek http://tinyurl.com/5aau9b
→ lightnsalt:Ni Etchant TFB的MSDS http://tinyurl.com/5r7vbq
推 Ice98:推樓上的!~
推 Ice98:通常不知道要用什麼蝕刻的材料, 我都用lift-off做
推 dalaba99:硝酸就可以了
→ bbturtle:感謝感謝!