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小弟目前有一片wafer 上面鍍有氧化鋅,氧化鋅上面有鉻跟金做的電極 可是做壞了想洗掉,想請問怎樣才可以除掉金跟鉻又不傷害氧化鋅呢? 要用專屬的蝕刻液,還是有什麼溶液可以把全部的金屬一起洗掉? 那這樣的溶液會蝕刻到Si 或 氮化矽嗎? 萬分感謝~ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.38.83
Timsteven:不就用碘酒跟CR7嘛~ 12/22 18:16
Ice98:Si和Si3N4很強壯的 XD 12/22 20:07