推 Ice98:製程溫度能多低就多低 XD 03/03 20:09
→ lucker:好像要看啥材料 有些可以高溫退火 減少殘餘應力 03/13 12:54
有關於軟體部分的問題我已經知道答案了，謝謝熱烈回覆
現在我有另一個問題了...如果想要減少薄膜的殘餘應力
有什麼方法或是一些該注意的基本rule需要注意呢?(材料部分先不探討)
我自己知道的有:
圓形薄膜就比方形薄膜好...還有一些在layout上可以設計一些皺摺
來降低殘餘應力....那還有哪些方法呢?
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