[問題] 絕緣材料鍍膜

[Ice98 (又寂寞又美好)]

        各位板友們好,

        在此想向各位請教,

        是否有什麼方法, 可以在Cr/Au導線上鍍一層絕緣層,

        以防止靜電致動器pull-in後產生短路,

        目前想到的是parylene coating,

        但不知是否能將厚度控制在100nm以下?

        還有, 鍍完Cr/Au的東西,

        送進PECVD裡沉積oxide/nitride是否會出問題?

        因為有聽學弟說過金屬送進去會不見 @.@

        另外, 之前有聽說有人用e-beam蒸鍍SiO2,

        不知是否有人做過這種製程?

        謝謝!~

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◆ From: 123.204.120.163
※ 編輯: Ice98           來自: 123.204.120.163      (03/05 01:21)
推 Jinuse:一般parylene的厚度好像是用量來決定的 應該有機會很薄唷
推 Keelungman:我做過 10nm 以下  就蒸鍍鋁上去  用氧氣電漿氧化
→ Jinuse:只是很難量吧 這種有彈性的薄膜對探針式的量測比較危險
→ Jinuse:上次差點卡住針
→ Jinuse:二樓的氧化鋁感覺很不錯的樣子  會有擴散的問題嗎?
→ Ice98:二樓的方法聽起來可行性頗高呦!~
→ ctsimon:是可以用e-beam鍍sio2!如果沒有後續蝕刻製程的話!可以用!
推 oactioner:請問e-beam鍍sio2 的靶材是什麼?
推 namicha:我記得之前實驗室就是用PECVD鍍絕緣層
推 tjime831:有可能不見,我有遇過類似情況..但把cr 鍍厚一點似乎就OK
→ tjime831:至於氧化鋁會不會因為在release時,被SF6 orB.O.E給吃掉 ?
推 hungin:倒不如在結構設計時先設計stoper防止pull-in的現象發生