[問題] 用koh吃silicon,哪種參數111的Roughness最小?

[forceout (forceout)]

paper都有Rq~10nm 數百um^2

但是我只做出來過一次,之後就再也沒有成功過了
koh 20% 85 or 80度C

有人用過60度C 在製程完後polish嗎?

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◆ From: 123.195.210.238
→ forceout:wafer會有品質的差異嗎?光罩有對大平邊,也試過先做一次找
→ forceout:晶格面.第二道才真正吃穿