推 hungin:做個尺寸相同dummy的懸浮結構觀察..結構飄掉應該就吃完了 03/09 19:01
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之銘言：
: ※ 引述《olynn (墮落)》之銘言：
: : 我用釤(Sm)跟鈷(Co)當作催化劑
: : 可是反應完之後釤跟鈷黏在基板的表面上
: : 我用氫氟酸去etching之後都沒有反應
: : 請問什麼腐蝕液可以清洗掉它們
: : 謝謝~~
: http://www.ee.byu.edu/cleanroom/wet_etch.phtml
: 裡面有各種金屬的蝕刻液調配參數
: 不過沒有samarium 就是了
各位先進你好
我想問如何計算蝕刻氧化層下的金屬
它會側蝕刻多少範圍
我現在是要做蝕刻氧化層下金屬
不過都不知道有沒吃乾淨
目的是要釋放懸臂樑
謝謝
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