[問題] Si的等向性 與 非等向性蝕刻

[newbrain (matlab=中學數學)]

請問除了KOH以外

其它常見的蝕刻液都是等向性蝕刻?

例 HNO3 : NH4F : H2O

又 這種蝕刻液要倒哪個廢液桶啊??

不好意思 好像問了很多很常見的問題 呵呵

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◆ From: 61.228.112.243
推 Ice98:這三個都是酸的 當然倒酸桶啦!~
→ newbrain:thank 樓上