→ vanll23:照理論來講 側壁是不會鍍上去的 因為準值性很高 04/06 14:48
推 quaintness:鍍過100um厚度的SU-8,側壁鍍得上去,不論載具是公轉自轉 04/07 07:25
→ quaintness:或僅公轉，沈積厚度到一定程度側壁可以明顯看得出來 04/07 07:26
究竟E-gun鍍金屬出來的輪廓是比較像哪一種的?
conformal 還是 anisotropic?
或是介於兩者之間??那比較偏向哪一邊呢?
我的意思是說如果今天我鍍50奈米的Cr好了
那對於垂直壁來講 它大概會被鍍上幾奈米降子??
希望有經驗的使用者能分享給我一下 謝謝
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