[問題] 薄膜應力

[ken9110 (小蝙蝠)]

各位先進
我想請問一下
我有一個懸浮結構
他是一個Sio2-al-Sio2三明治結構
當它被釋放懸浮後
是不是不太會有像"純金屬"的懸浮結構有很大的翹區現象
請會的先進可以幫我解答OXIDE 跟AL 的薄膜應力方向跟翹區程度
謝謝

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.124.33.113
→ peanut2:三明治結構，通常就是為了解決梯度應力