[問題] 微機電製程之可調式光柵

[lexjiang (Lex)]

如題
不知道有沒有人可以提供一些相關資料呢
比如說製程、材料等等
我在國家儀器中心有看到這個研發成果
http://www.itrc.org.tw/Research/Product/Nano/grating.php

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