Re: [問題] 微機電製程之可調式光柵

[Ice98 (又寂寞又美好)]

※ 引述《lexjiang (Lex)》之銘言：
: 如題
: 不知道有沒有人可以提供一些相關資料呢
: 比如說製程、材料等等
: 我在國家儀器中心有看到這個研發成果
: http://www.itrc.org.tw/Research/Product/Nano/grating.php

        看圖片應該是SOI wafer配合簡單的ICP製程做出來的,

        節距和深度的規格是一般常見的範圍,

        就製程上來說應該不難做,

        設計上應該會比較花費心力,

        驅動電流有點高,

        可能是用thermal actuator 來帶動grating的位移,

        但是就節距的變化量來說, 感覺用comb-drive就可以做到,

        裡面已經有給關鍵字啦, 所以paper應該不難找才對.


        PS. 如果有錯誤的地方, 各位高手可別客氣ㄚ

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※ 編輯: Ice98           來自: 123.204.98.149       (04/12 21:29)
→ lexjiang:謝謝你