[問題] 光敏光阻=>對於不同角度入射光

[lovingqoo (~橘仔~)]

想請問各位大大是否有一種光敏材料

我用不同角度的照射光可以獲得不同外型的光阻

大約如下圖@@




     入射光

         ↘↘
          ◢◢◢◢◢◢◢◢ →光敏材料
                           →基板

就是藉由入射光角度不同，可以獲得不同三角形狀的光阻@@

麻煩各位大大幫忙了

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 115.43.228.71
→ lexjiang:我做這個有一段時間了, 要達到"理想"的三角型,是不可能的
→ lexjiang:只能以光罩,用位移的方式去曝光,得到一SAW狀的"三角型"
→ lexjiang:當然, 有其他方法的話, 大家也可以提供
推 lockq:可以提供一下光阻名跟廠商嗎 謝謝樓上跟原PO先
推 ybchen:這種概念要成功 必須光阻是有很高的吸收率 不過一般光阻為
→ ybchen:了能夠上下層結構均勻 通常不會有太高的吸收係數 所以這種
→ ybchen:方式不太容易成功 建議灰階光罩可行性較高
推 Ice98:有人拿SU-8這樣搞過,參考看看  http://0rz.tw/cLliY
→ lovingqoo:感謝大家 灰階光罩有考慮過 但想看看是否其他可行性方法
推 forceout:斜曝
→ lovingqoo:請教樓上斜曝可以成功?? 光阻是哪一款?? 有注意地方??
→ lexjiang:斜曝不可能