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請問想在silicon wafer用蝕刻的方式吃穿有什麼方法? 除了 電化學蝕刻 或 DRIE 有其他方法嗎 是否有其他的鑽洞方式 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.168.182.225
Ice98:KOH 04/16 23:50
max19820403:KOH不是只能吃角度 能吃穿嗎? 04/17 01:23
qooyen:根據你開的孔徑大小 如果開口越大 就能夠吃穿 04/17 01:37
tzjwinfcha:用雷射鑽孔? 04/17 12:46