作者wade1314 (D_wade)
看板NEMS
標題[問題] 矽材鑽孔?
時間Thu Apr 16 23:09:50 2009
請問想在silicon wafer用蝕刻的方式吃穿有什麼方法?
除了 電化學蝕刻 或 DRIE 有其他方法嗎
是否有其他的鑽洞方式
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.182.225
推 Ice98:KOH 04/16 23:50
→ max19820403:KOH不是只能吃角度 能吃穿嗎? 04/17 01:23
→ qooyen:根據你開的孔徑大小 如果開口越大 就能夠吃穿 04/17 01:37
推 tzjwinfcha:用雷射鑽孔? 04/17 12:46