推 lockq:北區微機電中心的RIE有CHF3 04/30 01:05
→ lockq:不確定是否停用 有下去做實驗再幫你看看 04/30 01:05
→ mises:現在應該是台大奈米機電系統研究中心 04/30 08:35
推 raincity:樓上大大是高手耶 05/01 08:36
→ raincity:慢了一分鐘，一樓正妹你好 05/01 08:37
→ newbrain:謝謝各位 可惜那邊好像停用了 Orz 05/03 23:51
求救一下
我想蝕刻SiO2的速率大於silicon
目前知道只有 CHF3 跟 C3F6 or C4F8這些類型的氣體可以做到
不知道哪邊有這種機台可以使用
先謝過了
一個挫咧等的準畢業生 哭哭
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