[問題] 想請問北微的SF6蝕刻各種材料的速率

[newbrain (matlab=中學數學)]

想請問一下有在使用台大北區奈米微機電中心RIE的使用者們

中心裡面純SF6蝕刻 Si 跟 普通PR 的速率 以及相關的製程參數，例如流量 氣壓 功率等

非常感謝!

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 61.228.103.160
→ onlyfriend:這種參數 每台機台每個sample試出來都不一樣
→ onlyfriend:而且光試一個recipe 可能是別人花了很多時間的結果
→ onlyfriend:為何自己不花時間去試參數? 更何況這paper也查得到
推 paullai:推一下北微...XD   (沒想到PTT上好多北微人)
→ newbrain:我也希望可以自已試參數啊，可是老師現在預算很緊...
→ newbrain:要我們做實驗又一直喊沒錢真的是很無言