[問題] RIE蝕刻SIO2參數

[hitogo (我是土狗)]

不知道板上有沒有大大知道 用RIE蝕刻SIO2的參數

 我是在南微做的  本來裡面有內建的參數

 可是之前機台壞掉後全部的參數就都不見了  而且也只剩手動模式了

   我只要吃100nm SIO2而已

   不知道 確切的功率及氣流要設多少





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