[問題] 49%HF吃BPSG速率問題

[Jia1986 (平淡過生活的無奈)]

想請教各位前輩
蝕刻速率問題
用49%的HF去吃直徑400um(370um)、高2.75um的BPSG大概要吃多久呢?
有蝕刻速率計算這方面的書嗎?
這方面沒什麼經驗所以想請教一下各位前輩...

先感謝各位了!

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 192.83.195.247