[問題] 請教SU-8達人 光阻去除問題

[magicmike (magic)]

 我在CIC晶片上旋塗SU-8 3025 厚度約60-90微米

 加熱都是用加熱板

 但是去光阻時我是丙酮+超音波 或 RIE(O2)

 但是表面都會有殘留 或是 有雜草狀的殘餘光阻

 請問有更好的辦法來去除乾淨嗎   謝謝!


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.124.32.212
推 quaintness:ICP(O2)/Remover PG
→ magicmike:除了樓上說的兩種方法還有其他的嗎?
推 wanttu:是在做lift off 還是純粹想把光阻全部洗掉??
→ magicmike:我是用SU-8做模 但是還是想要去完全乾淨
推 wanttu:如果你的微模仁不怕腐蝕的話,食人魚液之前版上有人提過好用
→ LittleHwa:不嫌棄的話,用膠帶如何？只要結構有相連我之前有整片撕
→ LittleHwa:起來的經驗，但是撕起來之後還是要經過清洗程序才會比
→ LittleHwa:較乾淨。