[問題] 玻璃基板與金屬的黏著性問題

[bbturtle (嗯)]

因為敝實驗室沒有用過玻璃基板的經驗

請問一下有使用過玻璃基板的高手

我如果在玻璃基板上用RF sputter 100nm厚的銅薄膜

銅跟玻璃基板的黏著力好嗎?

有沒有可能清洗的時候就掉下來了

不好意思請教大家了

感激不盡!


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.23.239
→ wanttu:我沒用過....但可能要先上一層HMDS ?!
→ quaintness:加HMDS會不會太扯了，無機和有機材料之間的耦合劑而已
→ quaintness:萬用?! 能加都加XD .. 先鍍層Cr或Ti當adhesion layer
推 LittleHwa:嘿.. 加了可能在清洗時全部掉下來
→ LittleHwa:                  打上去的
推 wanttu:在做LCD的時候是看過動畫上說要加HMDS 但我沒試過就是了
→ wanttu:原來不能加阿? 看過友達的動畫影片上面是如此寫的
→ wanttu:阿 沒事 我看成光阻跟玻璃基板了 呵呵 @@"
推 Ice98:好奇原PO如果已經去試的話 現在應該在哭哭了
推 tzjwinfcha:實驗就是一連串的TRY&ERROR
推 wanttu:被版主虧了 :'(
推 al11062000:有嘗試過玻璃上鍍Al做測試,負荷在100um下薄膜沒有受損