推 Ice98:兩層的pattern是否相同? 上面那層有懸浮結構嗎? 10/12 13:45
推 Jinuse:之前看SPEC他是寫不要完全烤乾就可以再上另一層 10/12 14:10
→ edcu:兩層的PATTERN算是一樣的~然後上層沒有懸浮結構~ 10/12 16:19
→ edcu:那我參數的設定是要以1070為主還是1075?? 或是要另外設訂定? 10/12 16:21
小弟因為要做結構的關係，需要底層先旋塗約50um的高度後再旋塗一層約250um的
高度(兩層光阻中間有夾放東西，)，實驗室目前有的光阻就是 1075 & 1070，所以
想法就是先旋1070的50um軟烤後再旋1075的250um，只是不知道這樣子的兩個光阻
能不能疊在一起做 ? 再來就是參數的問題，如果兩個光阻可以疊在一起，那要怎
麼選用硬烤跟曝光參數?? 麻煩大家給我點意見了，3q~
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