推 quaintness:Nickel電鍍在Glass上面,Seedlayer是Ti/Au,做完就容易掉 10/16 03:33
→ quaintness:原PO有遇過嗎?!還有oxide應該不是PECVD,是e-gun??? 10/16 03:35
→ quaintness:鍍!? 這動詞真酷○rz 10/16 03:36
→ s75287:oxide 是用PECVD沒錯... Nickel 沒有用任何附著層... 10/16 11:46
→ s75287:不會掉... 10/16 11:46
→ s75287:忘了講 Nickel 是用 e-beam 鍍上去的.... 10/16 11:47
推 kuanun:其實oxide 也可以用e-gun 鍍..... 10/16 12:10
→ s75287:我用PECVD鍍很快...所以用PECVD鍍... 10/16 12:29
推 tzjwinfcha:用三用電表量阻值 10/16 12:53
→ s75287:聽起來是好方法....!!! 還有其他的嘛? 10/17 04:35
→ s75287:因為我的Ni 是非常小的pattern 難量 不然我就要重弄一大片 10/17 04:36
推 pttresident:可以考慮連空片都一起下去長,空片有長到,另一應也有 11/03 19:51
→ s75287:我有放Si破片當reference 但是我得base是glass....怕不一樣 11/04 11:08
→ leox243:那就放GLASS當REF啊= = 11/04 20:43
推 pttresident:如果用glass當ref的話,還要能有辦法判斷有沒有鍍到 11/13 11:34