作者s75287 (彈珠汽水)
看板NEMS
標題[問題] ITO etching
時間Wed Oct 28 11:59:06 2009
ITO etching我採用 wet etching的方式
但是感覺 10um的線寬pattern很容易被吃掉
不曉得有沒有人有這樣經驗
或者有人試過 dry etching?
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◆ From: 76.87.91.46
推 Jinuse:可以考慮一下改變蝕刻液的種類 蝕刻溫度 會有不同的結果唷 10/28 12:00
推 ctsimon:用草酸比較好~~~沒有ito蝕刻液那摸快!也比較穩定! 10/28 12:45
→ s75287:草酸 我怕蝕刻太久 是不是底切會更嚴重? 10/28 14:24
推 ytr3344:鯝宒腔 蜊綎竭嗣呫睿匚僅 10um岆竭褣란隅腔 10/28 20:50
→ cccfboy:樓上火星文 11/04 17:36
推 kuany:有字天書 太難了 11/05 04:44