作者Harki (Brin)
看板NEMS
標題[問題] 洗4" Wafer用的 teflon洗盤!?!?
時間Thu Jan 7 21:54:28 2010
第一次在次po文
想請叫大家一些問題!
最近我們老師希望我在做Spin coating時,
直接使用 4" 的wafer去做,但目前lab裡沒有那麼大的器
材可以裝BOE做為清洗4" wafer使用,
想請問類似在做wet bench,其所使用的洗盤 燒杯都是coating Teflon的嗎!?
這些東西又該向那個廠商購買呢!?
因為和我們lab常接觸的廠商似乎都沒有賣!?!
lab 第一次買這一類的東西!
可否請大家推薦一些廠商?
謝謝大家!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 123.204.116.200
※ 編輯: Harki 來自: 123.204.116.200 (01/07 21:54)
推 paullai:NDL似乎有4吋wafer洗架 (不確定是否為Teflon) 可以問看看! 01/07 23:23
→ paullai:(我是指問看看他們跟哪家廠商訂購的~) 01/07 23:23
推 xcent:如果只洗單片,自己買Teflon回來做就可以了! 01/08 11:23