[問題] SU8-1075使用問題

[edcu (沒有心的心)]

  實驗室現在使用的是SU-8 1075 ，因為製程的關係所以必須要在兩層光阻中間放一個

  東西，再經過曝光顯影後會變成一個懸空的結構，那目前的方式是先旋一層100 um的

  高度，然後放置我的物體，再旋200 um 把物體包覆住，可是現在遇到一個問題就是

  第二層光阻包覆物體後曝光完做曝後烤動作時，SU-8 1075光阻會變軟，導致我的物體

  會往下沉到底，可是我目前做的印象中，光阻經過曝光後不是應該會硬化嗎，怎麼會

  在做曝後烤動作時光阻還會軟化 ? 不知道板上的高手能不能幫我想想問題點在那裡或

  是有其他的方式能使用的 ?? 請各位幫幫忙，謝謝~~~~~~~


  PS 因為以前學長用的是SU8-100，不會出現這樣的問題，可是我們換成SU-8 1075後就

     開始有這樣的情況發生，所以才上來問看看是那裡出了問題

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.121.125.94
推 Jinuse:問題可能是出在第一層的材料沒有經過硬烤 要烤過才會是硬的
→ Jinuse:你的製程沒有寫得很清楚所以很難幫得上忙
→ Jinuse:還有我在網站上只看到2000跟3000系列的 你的1075是哪來的呀
推 Jinuse:是 GM1075嗎
→ edcu:嗯~GM1075
→ edcu:如果第一層就硬烤了~我之後曝光還有辦法顯影嗎?
推 NTHUOnline:曝光前的叫 preback (預烤/軟烤)
→ NTHUOnline:硬烤應該是曝光完烤.   軟烤完可曝光沒問題...
推 wanttu:你第二層放的中心是不是很軟? 類似薄膜?
→ fotoa:可以去查有關雙層光阻的製程 簡單來說 軟烤的總時間不變
→ fotoa:大致上3:7 這樣分配給第一層跟第二層就可以了
→ magicmike:我猜可能SU8是負光阻 中間加的物件也變成遮罩
→ magicmike:所以經過曝光第一層的光阻算是沒有照光聚合 還是軟的
→ magicmike:可以試著第一層先曝 硬烤完再做第二層
→ magicmike:補充一下 我是說中間物體的下方光阻
→ edcu:多謝各位的意見耶~我先試著做看看~有問題再跟大家請教~謝謝