[問題]玻璃黃光製程問題

[taro1986 (芋頭)]

想請問一下

我是用玻璃做AZ4620的黃光製程

每次顯影完後

非結構地方(應該要顯影掉的地方)都會出現一大面霧狀泡泡

原本想說是否是HMDS的問題

所以又製作一片沒有HMDS的試片

結果還是一樣

不知道有沒有人有發生相同狀況可以提供一點意見?

感恩!

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.113.174.21
推 Jinuse:應該是過曝吧
推 SkyLark2001:樓上說的沒錯，你描述的情形是過曝，但我建議延長軟烤
→ SkyLark2001:時間
→ taro1986:了解 我試試看 感恩!
→ jackarlo:e