Re: [問題] 線寬1um的玻璃光罩

[spp100 (spp)]

  取 4" glass 一片
  鍍 Ti/Cr layer
  上光阻
  E-beam 曝光顯影
  Cr-7 蝕刻 Ti/Cr layer
  去光阻
                          收 工  ^o^


※ 引述《Zoma (喔喔喔~~~)》之銘言：
: 請問有誰知道哪裡有再作線寬1um甚至是0.8um的光罩呢?
: 學校單位包括交大~NDL~中央~中研院的規格都是2um的
: 不知道有沒有人委外作過線寬1um的光罩
: 我是想做在4吋玻璃上...但實際區域只會用到2cm*2cm
: 不知道這樣收費會多少? 謝謝囉

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◆ From: 220.132.235.161
推 aplasmaman:問題是曝光的光罩打哪來XD
推 SkyLark2001:電子束微影啊
→ spp100:樓上正解 E-beam 直寫 免mask  ^^
推 SkyLark2001:我比較好奇電子束微影的能量夠強可顯厚1-2um的光阻嗎?
→ SkyLark2001:畢竟那些光阻還要拿來當Cr7的檔罩的
→ spp100: 1um PMMA 可寫0.2umlinewidth, pitch0.8um
→ spp100:2009年發表於..  = = 哎呀我忘了在哪
→ spp100:用20 KeV能量 0.x pA 電流 老了詳細的忘了
推 SkyLark2001:感謝回答。
推 Zoma:這成本這是太驚人了~而且四吋應該要好幾天吧~
推 SkyLark2001:只寫在2cmx2cm不需要太久，但是這種submicron的尺寸
→ SkyLark2001:去做光罩就有困難了，蝕刻Cr/Ti不一定蝕刻很好，有了
→ SkyLark2001:光罩再去做submicron的黃光又是另一層難題...乾脆直接
→ SkyLark2001:每個SAMPLE都用電子束去寫吧
→ leeneil:如果要這樣 何不直接用EBL就好了...