推 lasaman:沒錯 用MEMS製程裡的曝光顯影加上金屬沈積是可以做到 05/10 17:06
http://tinyurl.com/3kfjqkj
(把paper公開放在google docs不知道會不會有問題 有問題請告知 謝謝)
就是我想請問一下這篇paper裡面的Wheastone Bridge GMR Sensor是怎麼弄的?
我看了有點好奇 而且他們還要把電線彎成那樣 尺度又那麼小
paper裡面沒有講的很清楚
還是說這個東西在MEMS裡面來說很常見?
我是第一次看到這個東西
問了蠢問題請多多包涵
謝謝
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