[問題] JSR 151N曝光顯影後圖形表面變得粗糙

[jeffdon2 (kkk)]

最近在嘗試使用JSR 151N來定義流道圖形並且加熱接合的動作，可是曝光顯影後

卻發現光阻的表面變成霧面，更詭異的是霧面的圖形是只有在被乳膠光罩覆蓋的區域

出現，其他沒被光罩覆蓋但是有曝光的區域都沒有這情形，不知道有用過JSR 151N

的人是否有相同的情形?

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